第43回プラズマプロセシング研究会
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プラズマエレクトロニクス講演奨励賞審査
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審査対象者には要件がございます。詳しくは、ホームページに掲載のプラズマエレクトロニクス講演奨励賞規定をご覧ください。
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(P1) 次世代半導体･エネルギー材料に向けた新規プラズマプロセス
(P2) 大気圧プラズマの革新的医療・農業･環境応用
1)プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング
2)プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
3)低ガス圧プロセシングプラズマの生成および応用
4)大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用
5)液相・気液界面プラズマの生成および応用
6)プラズマによる薄膜・表面プロセス（エッチング，薄膜形成，表面改質）
7)エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用
8)環境・宇宙・エネルギー分野へのプラズマ応用
9)プラズマプロセシングにおけるIoT/AI活用
10)上記以外のプラズマ関連研究
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