第42回プラズマプロセッシングシンポジウム
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(P1) 次世代半導体・エネルギー材料に向けた新規プラズマプロセス
(P2) 大気圧プラズマの革新的医療・農業・環境応用
1)プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング
2)プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
3)低ガス圧プロセシングプラズマの生成および応用
4)大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用
5)液相・気液界面プラズマの生成および応用
6)プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング,薄膜形成,表面改質)
7)エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用
8)環境・宇宙・エネルギー分野へのプラズマ応用
9)プラズマプロセシングにおけるIoT/AI活用
10)上記以外のプラズマ関連研究
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